Дифрактометр для контроля качества в полупроводниковой промышленности
Дифрактометр D8 FABLINE специально разработан для контроля качества полупроводниковых пластин в полупроводниковой промышленности. Оснащенный сенсорным экраном вместе с удобным и гибким программным обеспечением, D8 FABLINE позволяет быстро и качественно решать задачи контроля качества в полупроводниковой промышленности.
Исследование пластин размером от 6“ до 300 мм
Горизонтальный прободержатель обеспечивает высокое быстродействие системы и исключает повреждение образца
Интерфейс SECS/GEM позволяет интегрировать D8 FABLINE в систему управления технологическим процессом
Автоматическое распознавание образов дает возможность проведения точных микроанализов
D8 FABLINE может быть оснащен одиночным или сдвоенным встроенным FOUP-интерфейсом для загрузки пластин
Сенсорный экран делает работу с системой более удобной